重點:巡檢前先過目巡檢紀錄簿注意事項，攜帶齊巡檢表單與文具含手持式紀錄裝置，巡檢過程注意安全衛生，發現異常立即記錄、通報、處理。
67館廠務機房區1F:
變電站/電氣室/空調機房/發電機房/UPS機房/廢水系統區/純水系統區/PCW區/廠務材料庫房/氫氣存放區/氮氣儲槽。
67館廠務機房區2F:
特氣室A/B/C、Pfcs、CDA機房。
67館廠務機房區RF:
冷卻水塔&PUMP、各排氣系統、PCW儲水 槽、尾氣乾式處理器。
67館廠務機房區B1F:
消防PUMP機房
52館B1F:空壓機/N2壓力/PCW系統/60RT&80RT冰水機房/無塵室溫溼度紀錄/各項用電紀錄/B1FSCR循環水PH
52館B2F:純水機房/廢水機房
52館RF:排氣風車及冷卻水塔